半導體制造工藝自動組裝生產(chǎn)線用于晶圓傳輸、芯片封裝等環(huán)節(jié)使用真空機械手和EFEM(設(shè)備前端模塊),避免微粒污染。機器人需在超潔凈環(huán)境中完成納米級精度操作。,c32933ddd7de9c8b859bdf5faedffb8b

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